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    (6)
    SMIF
    (21)
    ULPA
    7.
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    切晶
    (7)
    Bipolar Junction Transistor
    (22)
    APCVD
    8.
    ( )
    乙烷
    (8)
    TCE
    (23)
    CDC
    9.
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    共晶黏著法
    (9)
    MOS
    (24)
    IPA
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    ( )
    电晶体
    (10)
    TCA
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    LSI
    11.
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    遮罩
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