ELEC6024 集成电路工艺和器件的计算机模拟

Process and Devices Simulation for IC

开课院系：信息科学与工程学院 任课教师：阮刚教授

开课学期：第一 学分：4 周学时：4 总学时：72

课程性质：硕士学位专业课 适用专业：微电子学与固体电子学

本课程的教学目的

掌握几种国际知名的集成电路工艺模拟程序，集成电路中MOS型和双极型器件模拟程序所用的物理模型及程序的应用。了解集成电路工艺和器件模拟技术的最新进展。

教学内容及基本要求

一、基础部分（要求掌握有关知识和技术）：1、讲解国际上知名的、实用的集成电路工艺模拟程序的物理模型，练习和讨论程序输入文件的书写及程序的应用；2、讲解国际上知名的、实用的集成电路中双极型和MOS型器件模拟程序的物理模型，练习和讨论程序输入文件的书写及程序的应用。二、深入和广延部分（要求了解有关知识和技术的最新发展）：1、阅读有关文献；2、写读书报告并进行课堂交流、讨论。

考核方式及要求

考试。要求既掌握基础又了解新进展。

学习本课程的前期课程要求

学习本课程前要求具有大学本科水准的半导体物理、工艺及器件知识。

教材及主要参考书目、文献与资料

阮刚，《集成电路工艺和器件的计算机模拟》（自编讲义）。

IEEE出版的有关杂志（如IEEE Trans. on TCAD, on ED, on CAD等）及有关国际会议文集。