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  • 测量样品电阻率

    免费下载 下载该文档 文档格式：PDF   更新时间：2011-11-06   下载次数：0   点击次数：1

    测量样品电阻率 1、 单晶硅样品的处理 首先将样品测试面进行研磨或喷砂处理，以增大表面复合，减少少 数载流子注入的影响 。其中以喷砂处理的表面较好，在喷砂处理的表面进行电阻率测量 时，重复性能好，尤其对高阻单晶。

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