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微探针、奈米电极制作与微米阵列孔加工之研究-国立虎尾科技大学鼓...
下载该文档 文档格式:PDF 更新时间:2010-07-23 下载次数:0 点击次数:2
简易机械手臂机构来辅助制作微电极,此法成功完成 了超微细电极(φ <1μm)的制作。最后,将加工出 不同尺寸的微电极,利用放电加工的方法,应用於 微小孔、微零件加工...
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