GE Sensing
7252/7252i型 数字压力控制器

用户手册
通用电气传感与测量 2007年4月
(使用仪器前请仔细阅读本手册,中文版仅供参考,以英文版为准)
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INTRODUCTION
目录
表格目录 ..........................................................................................-viii-
第一章 基本信息
1.1 简介 1.2 基本信息 1.3 特性 .........................................................................................................1-1 1.4 标准配置和选件 .......................................................................................1-3 第二章 工作原理 2.1 简介..........................................................................................................2-1 2.2 电源..........................................................................................................2-2 2.3 电气部分 ...................................................................2-2 2.3.1 后主板 ................................................................2-2 2.3.2 微处理器板 ......................................................2-2 2.3.3 数字控制板 ......................................................2-3 2.3.4 IEEE-488 接口 ................................................................2-3 2.3.5 前面板 ..........................................................................2-3 2.4 气动模块 ....................................................................2-4 2.4.1 测量模式气路 .................................................2-5 2.4.1.1 参考口 ..............................................................2-5 2.4.1.1.1 气压传感器 ...........................................2-6 2.4.1.1.2 绝压带真空参考-选件 ..2-6 2.4.1.2 测试口 ......................................................................2-6 2.4.1.2.1 单测试口操作选项 ...................2-6 2.4.1.3 排空过程 ............................................................2-7 2.4.2 控制模式气路 ........................................... 2-7 2.4.2.1 气源压力口 .....................................................2-7 2.4.2.2 真空源(排气)口 .......................................2-7 2.4.2.3 压力控制 ..........................................................2-8 2.5 控制原理 .......................................................................2-8 2.5.1 内环和外环控制 ..........................................2-8 2.5.2 正常模式 .......................................................................2-8 2.5.3 快速模式 .............................................................................2-8 2.5.4 ALIGNMENT OF INNER LOOP WITH OUTER LOOP ...................2-9 2.5.5 PID 控制 ..........................................................................2-9 2.6 传感器模块 .................................................................2-10 2.6.1 石英波端管传感器(传感器01) ............2-10

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