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  • 等:热丝辅助ECR-CVD制备a-Si:H薄膜的红外和光致衰退研...

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    采用TDGC2-10接触调压器为热丝加电压,Rayr3ilmsc红外测温仪测量热丝温度.沉积...Journal of Non-Crystalline Solids, 1993, 164: 83-86. [5] 姚若河, ...

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