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文档预览： 微机电系统概论 于剑平教学大纲使学生明白各种传统及非传统机械制造方法,可适应...微机电产品制造技术18微机电产品制造技术17齿轮与凸轮的制造16快速成形及快速模具... 点击下载

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文档预览： –300GHz的电磁领域的各种微机电系统（MEMS, micro-electromechanicalsystems）中应用非常广泛。· 在一个静电可调式平行板电容器里，当外加电压改变时两平板间的距离... 点击下载