雷射图形产生器(DWL-200) 雷射图形产生器(DWL-200) 光罩制作规范
本规范规则及相关表格不定时修订,请送件前再予确认. 本规范规则及相关表格不定时修订,请送件前再予确认.
预约与收件: 预约与收件:
01.每月制作数量以实际送件计,收受件数约为 15 件,累计 70 片后暂停收件 片后暂停收件. 02.使用国科会贵仪补助费用者,需先上国科会贵仪网站预约始得送件. 03.基於公平性与避免作业上的混乱,以实际送件顺序做为数量控制而非预约顺序;请预约者在 预约后速将光罩图档 申请单 光罩图档与申请单 预约后 光罩图档 申请单上传,预约后 2 周内未送件者,预约即予取消 预约后 周内未送件者,预约即予取消. 04.送件时需同时送申请表,可从本中心网站下载填写后上传,亲送或传真(03)5724241. 申请表下载 ftp://140.113.18.20/dwl200_table.doc 05.无申请表即无法制作光罩,故未收到申请表书面资料时,上传之档案将被删除. 06.申请表上之使用者,电话,E-mail 请填写正确以便联络,光罩完成后会以 E-mail 通知. 图形须本中心复制者,请注明 x= um;y= um 以及 Repeat 数目,如填错或不填者请 自行负责,最好能自行复制成 1*1 完成图;图形为 1*1 者免填 Repeat 栏位. 7.图档请先上传,待本中心检视后再安排看图时间,不须现场看图者请在申请表上注明,无法 现场看图者可以将图形影像注明亮暗区块随图档上传. 08.档案名称请以预约序号之年月号码(07****)命名以利作业进行. **) 年 号码( **** 09.档案请上传 140.113.18.20 Username:nfc Password:nfc123 Port: 777 140.113.18.20 Username: Password: 777. 10.图档检查正确则排程上机制作光罩,问题图档 问题图档若无法於当月修复则当次预约即予取消 当次预约即予取消. 问题图档 当次预约即予取消 11.为减低光罩制作上可能之差错,上传之图档以一片光罩一个档案 一片光罩一个档案为原则. 一片光罩一个档案 12.申请表内填写光罩数量与上传光罩图档数量不符时,仅制作最少数量,其余请另案送件. 申请表内填写光罩数量与上传光罩图档数量不符时 申请表内填写光罩数量与上传光罩图档数量不符时,仅制作最少数量,其余请另案送件. 13.使用者如系以他人贵仪帐号预约者,请一并在申请表上书明预约帐号之申请人及计划主持 人.
缴费与交件: 费与交件:
使用国科会贵仪补助费用者,实验完成后贵仪系统会发出电子邮件通知申请人及计划主持 人;使用者如系以他人贵仪帐号预约者,请向预约帐号所有人取得该邮件内容.实验完成通 知邮件内含有 10% 现金缴费之数额,请先完成缴费销案程序后至本中心领取光罩. 有关贵仪 10% 现金缴费请下载贵仪现金缴费说明 ftp://140.113.18.20/bill.pdf
光罩图形规范: 光罩图形规范:
档案格式: 1.所有命名请用英文字母,阿拉伯数字或底线,其余符号请勿使用. 2.本中心无绘图服务,请自行绘制图档,可接受图档类型为 gds (L-Edit,Cadence);如使用 AutoCAD 绘制图档请将图档存为 dwg 或 dxf 格式最终转换成 dxf 格式;其中 dxf 档必须为
AutoCAD R12,2000 or 2004 等三种版本所转换之 DXF 格式,其他较新版本之 AutoCAD 所转换 R12 2000 较新版本 之各种 DXF 格式(含各旧版 DXF 格式)并不相容.
(注:AutoCAD 系泛用型工程绘图软体,用於光罩绘制有其设计上限制,请详阅附件之绘图规则)
3.图档须先如前述之方法转成 dxf 格式,再使用转档程式(如 LinkCAD)转换成 gds 格式. 转档软体 LinkCAD 可於 http://www.linkcad.com 网站下载试用版 (此软体功能极佳建议多利 用),完成后 view 图检查时选择 填满 模式确认图形. 4.将确认正确的 gds 档上传,绘制正确不需修改的图档,可优先排程加速取得光罩成品,请使 用者多用心并将方法传承给学弟妹,提高设备效率利人利己. 5.如提供 gds 档案有困难者,可以交付 dxf 或 dwg 格式,但非 gds 档案须额外转档处理,排程 顺位较低,但仅交付 dwg 格式者不予制作 格式者不予制作 不予制作. 但 图形: 1.本机台光罩图案最大的有效区域为 200mm X 200mm;80mm X 80mm 图形写上光罩约需 3 小 时,100mm X 100mm 图形则约需 4 小时,使用适当的有效区域大小可加速取得光罩. 如为 4 吋光罩图案最大的有效区域 80mm X 80mm,5 吋光罩为 l00mm X 100mm,6 吋光罩则 为 l20mm X 120mm. 2.最小线宽 1.6 um,pattern 区域不可小於 1 cm,Repeat 个数不能超过 16x16. 3.Clear 为所绘图案区块在光罩上为 透光,Dark 为 不透光. 4.Dark 光罩在完成图外围如果没有框线则在完成图 左下,右上角处多划一 5u*5u 小方块当边 界. 5.请自行在光罩图形适当位置加上辨认符号,可以用肉眼轻易辨别. 6.原点布置图

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