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第3章晶体生长
下载该文档 文档格式:PDF 更新时间:2012-04-02 下载次数:0 点击次数:1
影响晶体生长过程和所生长的单晶质量。 对于生长过程人为可控制因素主要是:热场设计、 籽晶杆及坩埚的旋转和升降速度,炉内保护气氛 的种类、压力,温度控制精度及直径...
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